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研磨液和抛光液在半导体中的应用

发布者:河南启元磨料磨具  |  发布时间:2024-03-24  |  阅读:8
磨削和研磨等磨料处理是半导体芯片加工过程中的一项重要工艺,它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工,但是研磨会导致芯片外表的完整性变差。因而,抛光的一致性、均匀性和外表粗糙度对生产芯片来说是十分重要的。抛光和研磨在半导体生产中都起到重要性的作用。
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